美國aBeam Technologies提供多種產(chǎn)品來改進半導(dǎo)體制造和納米制造。我們的產(chǎn)品用于模擬和優(yōu)化納米光刻、計量、掩模和缺陷檢測。它們還用于半導(dǎo)體設(shè)備的設(shè)計和優(yōu)化。此外，該公司還銷售電子束圖案發(fā)生器，并提供頂級納米制造。我們的客戶是半導(dǎo)體工廠、設(shè)備制造商以及研發(fā)實驗室和大學(xué)。aBeam Technologies總部位于美國加利福尼亞州。半導(dǎo)體設(shè)備價格昂貴。有機會提高工具質(zhì)量、提高過程質(zhì)量或為下一代延長其生命周期，使我們的軟件獲得了更大的回報。
aBeam Technologies的研究人員與勞倫斯伯克利國家實驗室和阿貢國家實驗室合作，開發(fā)了一種制造線寬降至1.5納米的測試圖案的技術(shù)。設(shè)計的圖案包含數(shù)千條線條，線條寬度準確設(shè)計；這些線以這樣一種方式組合，即線寬的分布在任何位置看起來都是隨機的。這種偽隨機測試模式允許在納米氣象系統(tǒng)的整個動態(tài)范圍內(nèi)對其進行表征。
ABeam Technologies主要產(chǎn)品：
軟件
模式生成器
光學(xué)平臺
光束消隱器
光子集成器
主要型號：
TRAVIT EBL、DISPLACE、TEMPTATION、SCATT、TRAVIT Dry Etch、XeDraw、XPG-2、XENOS XeMove、XeSwitch
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