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美國Inprentus Inc利用專(zhuān)有的納米級接觸模式光刻技術(shù)制造光學(xué)器件。Inprentus 設計、制造和銷(xiāo)售用于同步輻射設施、半導體制造和增強現實(shí)（AR）波導的衍射光柵。全球財富 500 強企業(yè)、學(xué)術(shù)機構和政府實(shí)驗室都在使用 Inprentus 的衍射光柵，用于各種科學(xué)和商業(yè)應用。Inprentus公司由伊利諾伊大學(xué)香檳分校物理學(xué)教授Peter Abbamonte于2012年6月創(chuàng )立，旨在將創(chuàng )新的雙原子顯微鏡劃線(xiàn)技術(shù)商業(yè)化。

這項技術(shù)是表面高精度圖案化的通用方法，適用于 X 射線(xiàn)和超紫外衍射光學(xué)，在這種光學(xué)中，須以 0.1 度的角度塑造特征，并在數十厘米的距離內以納米級定位。

Inprentus主要產(chǎn)品：

衍射光柵、同步輻射光柵、輻射光柵、光譜學(xué)熾熱衍射光柵

主要型號：

EUV、VLS、FEL

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