集成的掃描程序可進行光纖對準
硅光子學的理想選擇
廣泛的軟件包
直接檢測光信號
位置傳感器具有高精度和高操作可靠性
<0.5s內(nèi)自動對準多根光纖
快速高精度的驅(qū)動器
光纖對準系統(tǒng)的基礎是非常堅固的XYZ設置,包括三個電動線性平臺和一個P-616 NanoCube納米定位器。低的整體高度簡化了在有限安裝空間中的集成。電動驅(qū)動器可以實現(xiàn)更長的行程范圍,同時,NanoCube納米定位器可確保快速掃描運動并動態(tài)補償漂移效應。撓性導軌和全陶瓷絕緣PICMA執(zhí)行器確保了較長的使用壽命。因為所有驅(qū)動器都配備了位置傳感器,所以例如可以可靠地防止與昂貴的硅晶片發(fā)生碰撞。
廣泛的軟件包
供貨范圍內(nèi)提供的軟件包允許將系統(tǒng)集成到幾乎所有環(huán)境中。支持所有常見的操作系統(tǒng),例如Windows,Linux和macOS,以及許多常見的編程語言,包括MATLAB和NI LabVIEW。得益于復雜的程序示例和軟件工具(如PIMikroMove)的使用,開始集成和生產(chǎn)操作之間的時間大大縮短了。
高性能掃描程序
復雜的掃描例程直接集成到控制器中。性能顯著提高,集成簡化。該系統(tǒng)可以管理光纖對準領域中的所有任務。例如,雙面系統(tǒng)允許發(fā)射機和接收機同時對準。
高分辨率模擬輸入
控制器直接通過高分辨率的模擬輸入接收光強度信號。無需使用攝像機進行復雜的設置。各種分布函數(shù)可用于確定更大強度。
應用領域
光學組件的對準,自動晶圓測試,硅光子學中的組裝技術
活動軸數(shù):12
粗略定位
主動軸:X,Y,Z
X,Y,Z的行程范圍:25、25、25 mm
增量運動:min.3 μm
速度:min.20 mm / s
感應器類型:旋轉(zhuǎn)編碼器
導軌:交叉滾子導軌
驅(qū)動類型:直流馬達
精細定位
主動軸:X,Y,Z
X,Y,Z閉環(huán)行程:100 μm
增量運動,開環(huán):min.0.3 nm
增量運動,閉環(huán):2.5 nm
線性誤差,對于整個行程:2%
重復性(雙向)10%行程范圍:2nm
傳感器類型:增量式
驅(qū)動類型:PICMA
對準
500 μm?螺旋區(qū)域掃描時間:<6 s
100 μm?螺旋面掃描時間:<1 s
10 μm?螺旋區(qū)域掃描時間:<0.5 s
±5 μm(重復性<0.01 dB)掃描時間,梯度掃描,隨機:<0.3s