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產(chǎn)品分類(lèi)
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品牌標簽
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產(chǎn)品介紹
用于硅晶片的全光學(xué)非接觸式厚度傳感器
高動(dòng)態(tài)范圍，能夠測量混亂的表面
能夠在濕蝕刻過(guò)程中進(jìn)行原位測量
SIT-200使用高速掃頻可調激光器（而不是寬帶光源）來(lái)探測被測晶片。這樣就可以對每個(gè)波長(cháng)進(jìn)行更高功率的測量，從而實(shí)現高動(dòng)態(tài)范圍。即使在未拋光的晶片上，例如在濕蝕刻期間/之后，也可以進(jìn)行厚度測量。硅晶圓厚度傳感器由精確調諧的波長(cháng)掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構成。波長(cháng)掃描光聚焦在目標上，并且在通過(guò)傳感器后，PD會(huì )檢測到從目標表面反射回來(lái)的干涉圖樣。
產(chǎn)品參數
測量對象：硅片
可測厚度：10~500（n = 3.5）μm
光源：波長(cháng)掃描激光源
（1515~1585）nm
光輸出功率：0.6，激光等級1 mW
引導光源：紅色LD，激光等級1M
測量時(shí)間：min.20 ms
重復性：小于0.1（3σ）μm
監控輸出：干擾信號（電氣）
PC接口：以太網(wǎng)
電源：AC 100-240（50/60 Hz）V
尺寸（寬x高x深）：364 x 147 x 391 mm
重量：9.0 kg
津公網(wǎng)安備12010102000950號