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NIL Technology緊湊型納米壓印工具CNI v3.0

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產(chǎn)品介紹

CNI v3.0是桌面壓印工具，易于復制微米級結構，可用的腔室可支持多到100毫米晶圓或200毫米晶圓。CNI是一種用于壓印和熱壓花的桌面尺寸工具。它允許微結構從母版復制到基底。CNI工具可以執行熱復制和紫外線(xiàn)復制。CNI工具是壓印的良好起點(diǎn)，但它也支持成熟和先進(jìn)的開(kāi)發(fā)工作。CNI工具操作簡(jiǎn)單，功能強大，便于非標準流程和新實(shí)驗。

性能特點(diǎn)
  • 臺式壓印工具
  • UV NIL@365 nm（或405 nm–自定義選項）
  • 壓印壓力從0.3bar到11bar
  • 真空壓?。?mbar）
  • 堅固且易于使用
  • 手動(dòng)裝載和卸載印章和基板
  • 自動(dòng)過(guò)程控制
  • 易于操作的軟件界面
技術(shù)參數
  • 產(chǎn)地：丹麥
  • 壓力：壓印壓力為0.3-11bar過(guò)壓
  • 溫度：
  • 最高200ºC，可控制+/-1ºC
  • 最高250ºC，帶高溫選項
  • 紫外線(xiàn)照射:波長(cháng)為365和/或405 nm的紫外光，在120 mm的腔室中光功率為12 W，在210 mm的腔室約為100 mW/cm2或57 W，約為165 mW/cm2。
  • 真空：壓印室可以抽空至約1mbar的壓力
  • 是否進(jìn)口：是
  • 應用：廣泛
  • 封裝：廠(chǎng)家制定
  • 性能：良好
  • 可靠性：高
產(chǎn)品參數

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