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NIL Technology緊湊型納米壓印工具CNI v3.0

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產(chǎn)品介紹

CNI v3.0是桌面壓印工具，易于復(fù)制微米級(jí)結(jié)構(gòu)，可用的腔室可支持多到100毫米晶圓或200毫米晶圓。CNI是一種用于壓印和熱壓花的桌面尺寸工具。它允許微結(jié)構(gòu)從母版復(fù)制到基底。CNI工具可以執(zhí)行熱復(fù)制和紫外線復(fù)制。CNI工具是壓印的良好起點(diǎn)，但它也支持成熟和先進(jìn)的開發(fā)工作。CNI工具操作簡單，功能強(qiáng)大，便于非標(biāo)準(zhǔn)流程和新實(shí)驗(yàn)。

性能特點(diǎn)
  • 臺(tái)式壓印工具
  • UV NIL@365 nm（或405 nm–自定義選項(xiàng)）
  • 壓印壓力從0.3bar到11bar
  • 真空壓印（1mbar）
  • 堅(jiān)固且易于使用
  • 手動(dòng)裝載和卸載印章和基板
  • 自動(dòng)過程控制
  • 易于操作的軟件界面
技術(shù)參數(shù)
  • 產(chǎn)地：丹麥
  • 壓力：壓印壓力為0.3-11bar過壓
  • 溫度：
  • 最高200ºC，可控制+/-1ºC
  • 最高250ºC，帶高溫選項(xiàng)
  • 紫外線照射:波長為365和/或405 nm的紫外光，在120 mm的腔室中光功率為12 W，在210 mm的腔室約為100 mW/cm2或57 W，約為165 mW/cm2。
  • 真空：壓印室可以抽空至約1mbar的壓力
  • 是否進(jìn)口：是
  • 應(yīng)用：廣泛
  • 封裝：廠家制定
  • 性能：良好
  • 可靠性：高
產(chǎn)品參數(shù)

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