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LynceeTec全息顯微鏡Reflection DHM

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  • 品牌名稱(chēng):LynceeTec
  • 規格型號:Reflection DHM
產(chǎn)品介紹

Reflection DHM 是反射配置的全息顯微鏡。它們是測量全反射和部分反射物體的理想選擇。它們能夠處理低反射界面(反射率低至1%以下),是對各種樣品進(jìn)行準確光學(xué)形貌測量的理想儀器。

性能特點(diǎn)
  • 高采集率和易用性
  • 實(shí)現快速常規檢查、自動(dòng)化工業(yè)質(zhì)量控制以及創(chuàng )新的研發(fā)應用,尤其是動(dòng)態(tài)觀(guān)測
  • DHM與可選的頻閃模塊和用于MEMS分析和反射率分析的后分析軟件兼容
  • 每個(gè)DHM都可以用自己的結構來(lái)固定,或者只作為一個(gè)頭,安裝在其他結構或生產(chǎn)線(xiàn)上
  • DHM可與多種可選的電動(dòng)載物臺兼容
  • 它有能力和靈活性為您提供定制和OEM系統
選型指南

有三種可用配置,由波長(cháng)的數量和組合定義:

R-1000系列:?jiǎn)渭す庠?/p>

R-2100系列:雙激光源

R-2200系列:三個(gè)激光源

技術(shù)參數

產(chǎn)品:瑞士

配置:?jiǎn)渭す庠?/p>

特異性:?jiǎn)尾ㄩL(cháng)

測量模式:?jiǎn)尾ㄩL(cháng)

分辨率:亞納米

測量:實(shí)時(shí)

精度(通過(guò)在30次測量中對1個(gè)像素進(jìn)行時(shí)間標準偏差來(lái)證明):0.15 nm

垂直分辨率(定義為精度的兩倍):0.30 nm

重復性(通過(guò)在SiC參考鏡上進(jìn)行30次重復性測量的一sigma Rq值來(lái)證明):0.01 nm

垂直測量范圍(無(wú)任何掃描):連續結構可達200μm

帶銳邊臺階的高度(取決于激光源和工作波長(cháng)):max. 333 nm

產(chǎn)品參數

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