Reflection DHM 是反射配置的全息顯微鏡。它們是測量全反射和部分反射物體的理想選擇。它們能夠處理低反射界面(反射率低至1%以下),是對各種樣品進(jìn)行準確光學(xué)形貌測量的理想儀器。
有三種可用配置,由波長(cháng)的數量和組合定義:
R-1000系列:?jiǎn)渭す庠?/p>
R-2100系列:雙激光源
R-2200系列:三個(gè)激光源
產(chǎn)品:瑞士
配置:?jiǎn)渭す庠?/p>
特異性:?jiǎn)尾ㄩL(cháng)
測量模式:?jiǎn)尾ㄩL(cháng)
分辨率:亞納米
測量:實(shí)時(shí)
精度(通過(guò)在30次測量中對1個(gè)像素進(jìn)行時(shí)間標準偏差來(lái)證明):0.15 nm
垂直分辨率(定義為精度的兩倍):0.30 nm
重復性(通過(guò)在SiC參考鏡上進(jìn)行30次重復性測量的一sigma Rq值來(lái)證明):0.01 nm
垂直測量范圍(無(wú)任何掃描):連續結構可達200μm
帶銳邊臺階的高度(取決于激光源和工作波長(cháng)):max. 333 nm
專(zhuān)注領(lǐng)域研究 產(chǎn)品供應
專(zhuān)注領(lǐng)域研究 產(chǎn)品供應
專(zhuān)注領(lǐng)域研究 產(chǎn)品供應