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產(chǎn)品分類(lèi)
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品牌標簽
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產(chǎn)品介紹
35年來(lái)，我們一直在為光學(xué)涂層和等離子體蝕刻行業(yè)開(kāi)發(fā)現場(chǎng)監測和控制儀器。Intellemetrics推出了一系列晶圓視覺(jué)系統，專(zhuān)門(mén)設計用于在負載鎖定真空蝕刻和沉積室內觀(guān)察圖案化晶圓，以檢查是否已加載正確的晶圓，并確認相對于掩模圖案的對齊和放置。圖像分辨率取決于工作距離和視場(chǎng)，但通常在5mm的工作距離（適用于ICP蝕刻和沉積室）和600mm視場(chǎng)下可以獲得7μm的分辨率。
性能特點(diǎn)
- 5 M 像素高分辨率相機圖像
- 共線(xiàn)晶圓照明
- 成像距離從100mm到1000mm
- 可見(jiàn)特征尺寸低至 5um
- 手動(dòng)和電動(dòng)對焦選項
技術(shù)參數
- 產(chǎn)地：英國
- 攝像頭：
- 傳感器類(lèi)型：CMOS
- 傳感器尺寸：5像素，2560 x 1920像素
- 像素大?。?.2um
- 電源要求：
- 接口：GigE
- 電源：12至24 Vdc
- 功耗：3.5W
- 是否進(jìn)口：是
- 封裝：廠(chǎng)家制定
- 性能：良好
- 可靠性：高
產(chǎn)品參數
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