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CDE四點(diǎn)探針電阻儀ResMap 178

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  • 品牌名稱(chēng)：CDE
  • 規格型號：ResMap 178
產(chǎn)品介紹

ResMap Model 178已成為成本效益電阻率測量的行業(yè)標準。該四點(diǎn)探針旨在滿(mǎn)足工藝開(kāi)發(fā)和工具表征工程師的需求，具有所需的準確性、可重復性和可靠性。其龐大的安裝基礎證明了其性能、易用性和低擁有成本。

CDE的成立旨在為半導體及相關(guān)行業(yè)開(kāi)發(fā)和制造高性能、高性?xún)r(jià)比的晶圓計量工具。CDE ResMap是一系列適用于各種應用的自動(dòng)電阻率測繪系統。4點(diǎn)探針測量工具是一種儀器，用于測量導電介質(zhì)（通常是半導體應用的薄膜）中的薄層電阻（或Rs）。

性能特點(diǎn)
  • 準確性
  • 可重復性
  • 可靠性
技術(shù)參數
  • 晶片處理：手動(dòng)裝載
  • 晶圓尺寸：2英寸至8英寸
  • 尺寸：12英寸x 19英寸x 10英寸
  • 典型測量時(shí)間：每個(gè)站點(diǎn)1秒
  • max吞吐量：每片晶圓1分鐘（49個(gè)站點(diǎn)）
  • 測量范圍：2米?/-5米?/（可以?xún)?yōu)化到1米?/）
  • 重復性（1σ，典型）：≤±0.02%（靜態(tài)或Rs-pack）；≤±0.1%（動(dòng)態(tài)近點(diǎn)）
  • 精度：使用NIST traceableResCal標準≤±0.5%
  • min邊緣排除：1.5mm（探頭中心到薄膜邊緣）
  • 交流電源：100V至240V<10 KVA
  • 產(chǎn)地：美國
產(chǎn)品參數

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