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mirrorcle technologies反射鏡MEMS

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產(chǎn)品介紹

掃描雙軸(傾斜)MEMS反射鏡(或“微反射鏡”)是一種光束控制(或2D光學(xué)掃描)技術(shù),在許多行業(yè)中使用。與競爭產(chǎn)品相比,Mirrorcle Technologies股份有限公司tip-timeMEMS反射鏡有幾個(gè)主要優(yōu)勢?;贏(yíng)RI-MEMS制造技術(shù)的無(wú)萬(wàn)向節雙軸掃描微鏡設備起初是通過(guò)位于加利福尼亞州伯克利的亞得里亞海研究所(“ARI”)基于A(yíng)RI-MEM制造技術(shù)的研究項目開(kāi)發(fā)的,無(wú)萬(wàn)向節雙軸掃描微鏡設備在超低功率環(huán)境中運行,并在兩軸上提供非??焖俚墓馐鴴呙?。該設備使激光束在兩個(gè)軸上高速偏轉至高達32°的光學(xué)掃描角。與現有的大型電流計光學(xué)掃描儀相比,我們的設備所需的驅動(dòng)功率要低幾個(gè)數量級。我們的靜電執行器的連續全速操作消耗的功率不到幾毫瓦。

MirrorcleTech器件完全由單晶硅制成,具有好的可重復性和可靠性。光學(xué)平面和光滑的反射鏡上涂有一層具有所需反射率的薄膜。更大的反射鏡可以結合到致動(dòng)器上,用于定制孔徑尺寸。直徑從0.8毫米到7.5毫米的鏡子目前有庫存。高達9.0mm的尺寸在特殊應用中得到了成功證明。

MirrorcleTech的MEMS微鏡技術(shù)用途廣泛,適用于各種應用。一些器件采用某種通用的準靜態(tài)(點(diǎn)對點(diǎn))性能規范制造。其他設備是高度可定制的,以實(shí)現特定的規格集,例如投影顯示器。雖然以下描述主要涉及雙軸裝置,但也有多個(gè)單軸設計可用,包括點(diǎn)對點(diǎn)(準靜態(tài))和諧振型。

Mirrorcle Technologies MEMS器件解決了需要光束控制的廣泛應用。隨著(zhù)光學(xué)掃描或光束轉向出現在各種行業(yè)和眾多應用中,我們的掃描鏡在那些需要微型、高速、低功耗或低成本解決方案的應用中most為有利。

性能特點(diǎn)
  • 無(wú)萬(wàn)向節設計,實(shí)現超高速雙軸激光束轉向
  • 點(diǎn)對點(diǎn)(準靜態(tài))或諧振操作模式下的大角度
技術(shù)參數
  • MEMS反射鏡:A7M10.2-1000AL
  • 帶寬:在基于LPF的驅動(dòng)中為~2200Hz
  • FoR:約34°x 34°關(guān)注范圍
  • 波長(cháng):?jiǎn)蝹€(gè)激光二極管光源:綠色(~520nm),<30mW CW功率
  • 發(fā)散度(半角,平均值):<2.5mrad
  • 重復性:每個(gè)軸<0.005°
  • MEMS接口:10針0.05“Samtec連接器,與所有MirrorcleMEMS控制器匹配
  • 鏡子尺寸:從0.6毫米到7.5毫米不等
  • 激光接口:

共享10針MEMS接口連接器

需要與掃描模塊配對的Mirrorcle MEMS控制器,以匹配激光二極管(LD)特性

  • 產(chǎn)地:美國
產(chǎn)品應用
  • 投影顯示器
  • 3D掃描
  • 激光雷達成像
  • 3D跟蹤和位置測量
  • 激光打標和雕刻
  • 自由空間光學(xué)與電信
  • 生物醫學(xué)成像
產(chǎn)品參數

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