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產(chǎn)品分類(lèi)
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品牌標簽
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產(chǎn)品介紹
GT45A是一款基于A(yíng)rF浸沒(méi)式光刻光源GT65A平臺，具備高功能擴展性的機型。通過(guò)搭載新型模塊實(shí)現的“高運轉率”、繼承當前機型GT40A的“無(wú)氦氣”技術(shù)，可以在提高生產(chǎn)率的同時(shí)，減輕環(huán)境負荷。通過(guò)光譜寬度的穩定性改善、可變光譜技術(shù)、高可達90W的高輸出功率，滿(mǎn)足客戶(hù)的多樣化需求。
性能特點(diǎn)
模塊壽命延長(cháng)技術(shù)
降低維護頻率
提高生產(chǎn)率
減輕環(huán)境負荷
可選功能與配件
可以搭載GT65A可使用的功能和技術(shù)
技術(shù)參數
產(chǎn)地：日本
發(fā)射波長(cháng)：193 nm
平均輸出功率：45 – 90 W
脈沖能量：11.25 – 15 mJ
發(fā)射頻率：4,000 – 6,000 Hz
光譜幅度（以 95 %能量累計，E95,）：≤0.5 pm
數據采集：監控的方式
輸出方式：晶圓輸出
光譜帶寬：可變化
光譜寬度：穩定
產(chǎn)品應用
半導體工業(yè)
產(chǎn)品參數
津公網(wǎng)安備12010102000950號