Inprentus可為EUV應用提供定制的主光柵,在這些應用中,優(yōu)化光學(xué)效率、儀器緊湊性和性能是下一代處理實(shí)驗室的任務(wù)。Inprentus 能夠利用高可變線(xiàn)間距 (VLS) 制造具有強聚焦能力的衍射光柵。這使得光斑尺寸更小,工作波長(cháng)的光線(xiàn)更明亮。衍射光柵可在設計波長(cháng)內外使用,具有多種尺寸和規格,可實(shí)現緊湊型儀器設計和升級。Inprentus 還與客戶(hù)密切合作,在光柵母版中提供定制的熾熱角,以便在現有儀器或下一代儀器升級中實(shí)現直接替換。
現代化的衍射光柵機械固定方法
效率高和聚焦效果好
利用高可變線(xiàn)間距(VLS)制造具有強聚焦能力的衍射光柵
優(yōu)化減小光斑尺寸
可在設計波長(cháng)內外使用
實(shí)現緊湊型儀器設計和升級
提供定制的熾熱角
產(chǎn)地:美國
熾熱角:0.1° 到 80° 不等
VLS - 可變線(xiàn)間距 (VLS)
埃歇爾光柵類(lèi)型:埃歇爾光柵
判讀:在凹面、環(huán)面、橢圓面等曲面基底上進(jìn)行
分辨率:超過(guò) 100,000(取決于其他規格)
基底和涂層:高損傷閾值
尺寸: 500 x 200 毫米
線(xiàn)密度:50 到 3000 升/毫米
表面:硅或熔融石英基底的鍍金(Au)
單色儀、反射儀、散射儀等,光發(fā)射光譜、X 射線(xiàn)和紫外線(xiàn)衍射光學(xué)以及各種激光光學(xué)應用。
專(zhuān)注領(lǐng)域研究 產(chǎn)品供應
專(zhuān)注領(lǐng)域研究 產(chǎn)品供應
專(zhuān)注領(lǐng)域研究 產(chǎn)品供應