8-0240無間隙運行確保高運動精度 +0.5 μm 或更高的所有方向的雙向重復性有效值;校準精度高達 +1.5 μm 或更高,整個可用行程范圍;保證了低角度偏差(低至 +20 μrad)和 +25 μrad 或更好的正交性;超過 1000 mm/s 的高速度和 15 000 mm/s 的高加速度帶來了高產(chǎn)量和生產(chǎn)率;帶有可調(diào)氣動重量補償裝置的直接驅(qū)動垂直軸,適用于不確定的刀具重量,確保了多功能性;所有 XYZ 模塊中都集成了無鐵電機,確保了高動態(tài)范圍和動態(tài)穩(wěn)定性;直接安裝在負載上的增量反饋系統(tǒng)可實現(xiàn)無間隙伺服控制和即時動態(tài)響應;提供Abs編碼器選項,防止系統(tǒng)歸位運行;新型的實際龍門控制算法可確保穩(wěn)定性和低動態(tài)誤差;靈活的模塊化設計可滿足廣泛的應用要求、適合半導體制造或計量、鉆孔、激光燒蝕等應用;機構(gòu)復雜度低,可在不同行程范圍內(nèi)快速擴展類似系統(tǒng)。
定位范圍 XY - 1000 x 1300 mm,Y - 90 mm
+0. 5 μm 或更好的雙向重復性 RMS
+1.5 μum 或更好的校準Abs精度
速度 1000 m/s,加速度 15 000 mm/s2
靈活的模塊化設計可根據(jù)任何要求進行定制
可定制系統(tǒng)尺寸和行程范圍
產(chǎn)地:立陶宛
編碼器類型:光柵
編碼器型號:LEN1
編碼器分辨率(nm):低至 0.3
編碼器接口:1 Vpp 或 Dierential RS422
內(nèi)部乘法器:是
乘法器:x 65536
編碼器光柵周期(μm):20
參考標記(指數(shù)):是
Abs精度(校正后):±1.5;±1.5;±0.5 μm
雙軸重復性 (RMS):±0.5;±0.5;±0.1 μm
俯仰角:±15/±3.1;±42/±8.66;±551 ±11.34
偏航,拉德/角秒:±7.5/±1.55;±42/±8.66;±55/±11.34
滾動,垂距/角秒:±7.5/±1.55;±42/±8.66;±551 ±11.34
Max Vloit(無負荷,4 個電機),mm/s:1000
Max Acleaton (空載,4 個電機),mm/s2:10000
限位開關(guān)類型:霍爾傳感器
限位開關(guān)電壓:5至24 V
線性平臺總尺寸(寬 x 長 x 高):2300 x 1690 x 912 mm
移動平臺尺寸(寬 x 長):295 x 130 mm
測量系統(tǒng):公制/英制
光度,μurad/arcsec:48.48/10
航空、海洋、地質(zhì)勘探、測繪等
半導體制造或計量、鉆孔、激光燒蝕等應用