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產(chǎn)品中心

產(chǎn)品分類

品牌標(biāo)簽

COHERENT準(zhǔn)分子激光器COMPex 50

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  • 品牌名稱:COHERENT
  • 規(guī)格型號:COMPex 50
產(chǎn)品介紹

COMPex準(zhǔn)分子激光器是效率高的光源,具有緊湊的設(shè)計和易于安裝和操作的特點。它們在要求苛刻的應(yīng)用中提供更佳的結(jié)果,如固體取樣系統(tǒng)(LA-ICPMS)、材料研究(PLD)和準(zhǔn)確的材料處理。COMPex具有陶瓷預(yù)電離功能,可提供高達100毫焦耳的輸出,以及脈沖上脈沖穩(wěn)定性。COMPex還配備了一個改進的氣體處理器,可以延長氣體和光學(xué)壽命。

性能特點
  • 選擇157 nm、193 nm、248 nm、308 nm和351 nm波長,實現(xiàn)全材料柔性
  • 高達750 mJ的更好的脈沖能量,可在大視場下進行有效消融
  • 75%的脈沖穩(wěn)定性,均方根值,確保高通量控制
  • 基礎(chǔ)脈沖控制和系統(tǒng)參數(shù)記錄,提供智能和可復(fù)制的薄膜
技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

波長:193 nm

脈沖能量:100 mJ

重復(fù)頻率:max.50 Hz

平均功率:4 W

能量穩(wěn)定性(1西格瑪):≤0.75%

脈沖持續(xù)時間(FWHM):典型值20 ns

橫梁尺寸(V x H,F(xiàn)WHM):典型值14 x 5 mm2

光束發(fā)散(V x H,F(xiàn)WHM):典型值2 x 1 mrad2

光束指向穩(wěn)定性(1 sigma):≤50µrad

水冷:≤5升/分鐘(1.3加侖/分鐘),10至20°C

連接:1/2“

重量:280公斤(617磅)

尺寸(長x寬x高):1258 x 375 x 813 mm³

(50 x 15 x 32 in.³)

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

PLD–脈沖激光沉積

薄晶圓加工

激光剝離

LA-ICP-MS

產(chǎn)品參數(shù)

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