COMPex準(zhǔn)分子激光器是效率高的光源,具有緊湊的設(shè)計和易于安裝和操作的特點。它們在要求苛刻的應(yīng)用中提供更佳的結(jié)果,如固體取樣系統(tǒng)(LA-ICPMS)、材料研究(PLD)和準(zhǔn)確的材料處理。COMPex具有陶瓷預(yù)電離功能,可提供高達100毫焦耳的輸出,以及脈沖上脈沖穩(wěn)定性。COMPex還配備了一個改進的氣體處理器,可以延長氣體和光學(xué)壽命。
產(chǎn)地:美國
波長:193 nm
脈沖能量:100 mJ
重復(fù)頻率:max.50 Hz
平均功率:4 W
能量穩(wěn)定性(1西格瑪):≤0.75%
脈沖持續(xù)時間(FWHM):典型值20 ns
橫梁尺寸(V x H,F(xiàn)WHM):典型值14 x 5 mm2
光束發(fā)散(V x H,F(xiàn)WHM):典型值2 x 1 mrad2
光束指向穩(wěn)定性(1 sigma):≤50µrad
水冷:≤5升/分鐘(1.3加侖/分鐘),10至20°C
連接:1/2“
重量:280公斤(617磅)
尺寸(長x寬x高):1258 x 375 x 813 mm³
(50 x 15 x 32 in.³)
PLD–脈沖激光沉積
薄晶圓加工
激光剝離
LA-ICP-MS