Preciseley MEMS 傾斜鏡設(shè)計(jì)為準(zhǔn)靜態(tài)模式,在開環(huán)運(yùn)行時(shí)具有良好的穩(wěn)定性和可重復(fù)性,無(wú)需額外的反饋。通過超低電流模擬電壓輸入進(jìn)行控制。
產(chǎn)地:加拿大
鏡面直徑:Ø0.82, Ø1.0, Ø1.2,Ø1.5, Ø3.5 mm
鏡面平整度:0.8...5 m
反射率(鋁或金反射器):96...99 %
功率處理:max.500 mW
損壞電壓:min.70 V
啟動(dòng)電壓:max.60 V
傾斜角度:max.+/- 7.5°(X),max.+/- 7.5°(Y)
諧振頻率:1300...2100Hz(X),1100...2100Hz(Y)
響應(yīng)時(shí)間:max.1 ms
溫度穩(wěn)定性:0.001°C
耐久性(氣密密封):10^9
工作溫度:-5...+75°C
存儲(chǔ)溫度范圍:-40...85°C
烘烤溫度:max.110°C
焊線溫度:max.150°C