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美國KMLabs擁有將先進(jìn)的超快激光技術(shù)推向市場的悠久歷史。在1990年代,KMLabs從Kapteyn-Murnane研究小組中脫穎而出,該研究小組設(shè)計(jì)并演示了10fs Ti:藍(lán)寶石激光器,該激光器現(xiàn)已在全球范圍內(nèi)使用。 KMLabs的成立是為了響應(yīng)其他科學(xué)家對(duì)在脈沖持續(xù)時(shí)間基本極限下運(yùn)行的激光器的強(qiáng)烈需求,而傳統(tǒng)激光器公司根本無法解決這一需求。從那以后,其他激光公司一直跟隨KMLabs。

到2000年代初,KMLabs還實(shí)現(xiàn)了高平均功率低溫冷卻的Ti:藍(lán)寶石放大器系統(tǒng)的商業(yè)化,提供創(chuàng)紀(jì)錄的25W平均功率,TW峰值功率,kHz重復(fù)頻率和≈20-30fs的脈沖持續(xù)時(shí)間。到2009年,KMLabs率先推出了商業(yè)高諧波光源,該光源通過強(qiáng)飛秒激光的頻率上變頻產(chǎn)生相干EUV光束。這演變成XUUS產(chǎn)品線,并在光譜學(xué),成像和材料計(jì)量學(xué)領(lǐng)域擁有大量已證明的應(yīng)用。2015年,KMlabs滿足了下一代光刻相關(guān)的用于檢查和計(jì)量的高平均功率EUV/SXR相干光源,以及對(duì)納米計(jì)量學(xué)更好的分析工具的需求。

KMLabs主要產(chǎn)品:

極紫外光源

XUUS高次諧波、EUV光源

真空紫外線源

集成系統(tǒng)

量子顯微鏡

超快速TI:S激光/放大器

超快速TI:S激光器/振蕩器

超快速鈦:藍(lán)寶石振蕩器

Ti:藍(lán)寶石激光套件

Ti:藍(lán)寶石振蕩器家族

鈦:藍(lán)寶石振蕩器

配件類

束線模塊、脈沖選擇器

主要型號(hào):

QM、Stryde、Collegiate、Griffin、Halcyon、RAEA、Wyvern、Dragon、XUUS

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產(chǎn)品應(yīng)用